Verwendete Abkürzungen
ESD = elektrostatische Entladung (electrostatic discharge)
ESA = elektrostatische Anziehung (electrostatic attraction)
Reinheitsklassen
Ionisierung
Ionisierung dient der Neutralisation elektrostatischer Aufladung. Elektrostatische Aufladung entsteht durch die Reibung bzw. Trennung zweier Materialien. Dabei findet ein Elektronenaustausch statt, d.h. dass in einem Material Elektronen-
überschuss herrscht (negative Ladung), in dem anderen Material Elektronenmangel (positive Ladung).
Für den Menschen sind elektrostatische Aufladungen sowie deren Entladungen zum größten Teil ungefährlich, im Bereich der Mikroelektronik und der Chipherstellung kann sich die Aufladung bzw. Entladung jedoch negativ auf die Produktqualität auswirken.
Gerade in der Mikroelektronik kann elektrostatische Entladung (ESD) Defekte in Halbleitern und Leiterplatten verursachen, die gravierende Folgen auf die Funktionsweise, beispielsweise in Computern, Telefonen oder medizinischen Geräten nach sich ziehen. Darüber hinaus kann es zu Störungen im Produktionsablauf kommen, indem unerwünschte Partikel von elektrostatisch geladenen Oberflächen angezogen werden (ESA).
Neben anderen Schutzmaßnahmen wie ableitfähigen Oberflächen, Geräten und Bekleidung ist die Ionisierung die Lösung solcher Probleme.
Je nach Bereich bzw. Gegenstand, der ionisiert werden soll, werden verschiedene Geräte eingesetzt:
- Deckenmontierte Geräte
- Tischgeräte
- Handgeräte